Понятие и применение плазмы

Плазма – это полностью или частично ионизированный газ, в котором нейтральные атомы расщеплены на ионы и электроны. Присутствие ионов, электронов, фотонов, свободных радикалов и других частиц придает плазме ряд специфических свойств и позволяет рассматривать ее как особое четвертое состояние вещества.

На данный момент плазму разграничивают на низкотемпературную (до 20 000 С) и высокотемпературную (более 20 000 С).

Высокотемпературная плазма

(более 20 000 С)

Низкотемпературная плазма

(до 20 000 С)

Способ получения
ионизация газа при его нагреве до температуры свыше 20 000 С ионизация газа в газовом разряде (барьерный, коронный, тлеющий и другие разряды), в постоянном или переменном электрическом поле
Сфера применения
основной объект исследований по управляемому термоядерному синтезу газоразрядные источники света, газовые лазеры, плазменные дисплеи, обработка поверхности


Для практического использования наиболее интересна возможность применения низкотемпературной плазмы для обработки поверхности с целью достижения одного или нескольких прикладных эффектов, таких как модификация, активация, очистка, травление, стерилизация.

Модификация изменение химического состава или структуры поверхности для достижения ее гидрофобности, гидрофильности, стойкости к царапанью, а также, для улучшения ее склеиваемости
Активация повышение реакционной способности поверхности путем удаления или химического превращения неактивного вещества на поверхности
Очистка удаление слоя органических соединений и силиконовых загрязнений с поверхности
Травление очистка поверхности, чаще всего металла, путем уноса поверхностных окислов или пассивных слоев
Стерилизация полное уничтожение всех видов микроорганизмов и их спор на поверхности и внутри различных предметов